인더뉴스 이종현 기자ㅣSK하이닉스[000660]와 가우스랩스가 최근 미국 캘리포니아주에서 열린 국제학회 'SPIE AL 2024'에 참가해 AI 기반 반도체 계측 기술 개발 성과를 발표했다고 29일 밝혔습니다.

SPIE AL은 국제학회인 국제광전자공학회(SPIE, Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers)가 주최하는 컨퍼런스입니다. 

가우스랩스는 AI 기반 가상 계측 솔루션 'Panoptes VM(Virtual Metrology)'의 예측 정확도를 높이는 알고리즘인 '통합 적응형 온라인 모델(Aggregated AOM)'과 '범용 노이즈 제거 기술'을 소개했습니다.

김영한 가우스랩스 대표는 "산업용 AI 소프트웨어가 반도체 제조 현장에서 효과적으로 사용될 수 있도록 하는 연구개발에 힘쓰고 있다"며 "앞으로도 AI 기반의 다양한 솔루션 제품을 지속 출시해 '제조 현장 인공지능화'를 선도할 것"이라고 말했습니다.

SK하이닉스는 "당사는 반도체 수율과 생산성을 높이기 위해 그동안 가우스랩스와 다양한 영역에서 협업을 진행해 왔고 개발 성과가 담긴 논문 2편을 발표하게 됐다"며 "Panoptes VM을 도입해 현재까지 5000만장 이상의 웨이퍼에 가상 계측을 진행했으며 소프트웨어의 도움으로 공정 산포를 약 29% 개선하고 있다"고 밝혔습니다.