인더뉴스 최연재 기자ㅣ영우디에스피(대표 박금성)는 정부가 추진하고 있는 반도체 소부장(소재·부품·장비) 국산화의 세부주관기관으로 선정됐다고 28일 밝혔다.
산업통상자원부가 주관하는 본 사업은 '반도체 결함 검사장비용 CaF2 광학소재 및 광학모듈 기술개발'의 3세부 과제다. 한국산업기술평가관리원이 전담기관, 한국광기술원이 총괄주관 기관으로 참여한다. 1세부, 2세부에서는 각각 ‘CaF2 단결정 제조장비 및 200mm급 고균질 잉곳’과 ‘고분해능 자외선 렌즈설계, 광학렌즈, 광학모듈화 상용화’ 기술개발을 진행한다. 사업기간은 오는 2024년까지이며, 총 정부지원금은 194억5000억원이다.
영우디에스피는 반도체 DUV 대물렌즈 실장 및 성능평가용 IQC(수입검사)와 검사기 시스템을 개발에 참여한다. 영우디에스피가 주관기관으로서 역할을 수행하고 대일시스템, 금오공대, 국민대, 애리조나대가 공동연구개발기관 자격으로 참여한다. 사업 기간은 오는 2024년 말까지이다
영우디에스피는 내년까지 DUV 대물렌즈 평가를 위한 IQC 시스템을 개발할 계획이며, 2세부 과제에서 DUV 대물렌즈 개발시, 이를 실장 성능평가를 할 수 있는 검사기 시스템 역시 개발할 예정이다. 더불어 반도체 웨이퍼 10나노급 결함을 분석할 수 있는 검사기술 개발 역시 추진한다.
이번 과제를 기반으로 본격적인 반도체 검사장비 사업화도 진행할 방침이다. 국내외 광부품 제조 업체를 대상으로 수입검사용 IQC 시스템의 사업화에도 나설 전망이다. 반도체 웨이퍼 결함분석용 검사장비의 개발을 통해 소재부품을 국산화하고, 글로벌 반도체 업체와의 교류도 더욱 늘려나갈 계획이다.
박금성 영우디에스피 대표는 “그동안 디스플레이 및 반도체 장비를 개발하면서 축적한 초정밀 광학 설계 및 계측, 검사 알고리즘 및 AI 기술 등을 바탕으로 반도체 초미세 결함 검사장비 개발 및 관련 소재부품 국산화에 최선을 다하겠다”며 “특히 광부품 IQC 시스템과 웨이퍼 결함 분석 장비를 사업화하면 중장기적으로 대규모의 신규 매출이 발생할 것으로 기대되며 글로벌 반도체 업체들과도 지속적으로 협력을 이어갈 것”이라고 전했다.
