인더뉴스 양귀남 기자ㅣ예스티는 산업통상자원부가 주관하는 ‘차세대 지능형반도체 기술개발 사업(반도체 제조공정 장비)’에 선정돼 ‘반도체 구조결함 개선용 중수소 고압 어닐링 장비 개발’을 추진한다고 27일 밝혔다.
예스티는 고압 어닐링 장비와 관련해 알파 테스트를 성공적으로 마치고 공정평가를 위한 베타 테스트를 준비 중이다. 이번 국책과제 선정으로 생산성 및 공정 성능 측면에서 더욱 고도화된 고압 어닐링 장비를 선제적으로 개발할 계획이다.
기존 개발 중인 예스티의 고압 어닐링 장비는 자체 보유한 설계기술을 기반으로 150~900℃ 사이의 온도와 1~30기압까지의 공정 적용이 가능하다고 알려졌다. 차세대 고압 어닐링 장비에 대한 예스티의 개발 목표는 현재 개발 중인 베타기 대비 약 50% 증가한 웨이퍼 처리량과 공정 확대성이다.
예스티는 차세대 고압 어닐링 장비에도 자체 챔버 기술을 적용할 예정으로 이를 통해 장비의 효율성을 극대화할 방침이다. 현재 경쟁사가 판매 중인 고압 어닐링 장비는 수입 제품이 적용돼 가격 및 관리 측면에서 고객 부담이 크다는 게 특징이다. 예스티의 장비는 자체 기술을 사용하는 만큼, 가격 경쟁력을 비롯해 세정 및 장비 셋업 시간을 크게 단축할 수 있어 이번 국책 과제 선정에서도 평가위원들로부터 높은 평가를 받았다.
예스티 관계자는 “생산성 및 공정 성능이 향상된 차세대 고압 어닐링 장비에 대한 니즈 증가가 예상되며 정부 측면에서 이를 해결하고자 국책 과제를 시행하게 됐다”며 “현재 자체 개발 중인 고압 어닐링 장비가 경쟁사 대비 생산성이 뛰어나면서도 가격경쟁력까지 확보했다는 점에서 우수한 점수를 얻어 차세대 고압 어닐링 장비를 개발하는 이번 과제에 선정됐다”고 말했다.
