인더뉴스 박경보 기자ㅣ시노펙스(025320)가 한국 반도체산업 발전에 기여한 공로를 인정받아 산업부 장관상을 받았다. 이번 장관상은 현재 19년째 근무 중인 멤브레인필터사업부의 이하나 신사업팀장이 회사를 대표해 수상했다.
시노펙스는 29일 코엑스에서 열린 ‘제 13회 반도체의 날’ 기념 행사에서 산업통상자원부 장관 표창을 수상했다고 30일 밝혔다. 수입에 의존해오던 반도체 CMP공정의 필터 국산화에 성공하고 관련된 다양한 필터 제품들을 공급해온 공로를 인정받은 결과다.
시노펙스는 지난 2010년 반도체산업용 POU(POU)필터 개발로 국산화에 성공한 이후, 국내 및 대만 등의 반도체공정에 필터들을 공급하기 시작했다. POU필터는 반도체 제조공정 중에서 웨이퍼 연마에 필요한 슬러리(Slurry)용액을 최종 여과하는데 사용되는 필터다. 필터링된 균질한 사이즈의 미세입자로 웨이퍼 표면을 가공하기 때문에 반도체 퀄리티와도 직결되는 것으로 알려져 있다.
한편, 시노펙스를 대표해 장관상 수상에 나선 이하나 팀장은 수입산이 주를 이루던 CMP용 POU 필터에서부터 여러 종류의 CMP용 카트리지(Cartridge) 필터 개발에 참여해왔다. 특히 수입산 필터를 대체하는 국산 필터를 개발하는 등 반도체공정의 효율을 크게 향상시키는 데에도 주역으로 참여해왔다.
